蒸發(fā)臺行星鍋通常指的是電子束蒸發(fā)臺的高產行星鍍鍋裝置，屬于蒸鍍技術領域。其作用是在蒸鍍過程中，通過行星鍋的轉動，使基片能夠均勻地接受蒸發(fā)物質的沉積，從而提高蒸鍍的均勻性和質量。
在半導體制造中，蒸發(fā)臺行星鍋的主要作用是將蒸發(fā)物質均勻地分布到基材表面。蒸發(fā)物質可以是金屬、半導體或其他材料，通過加熱蒸發(fā)或電子束蒸發(fā)等方式產生蒸汽，然后蒸汽在行星鍋內旋轉，使得基材表面能夠均勻地接觸到蒸發(fā)物質，從而形成薄膜。
蒸發(fā)臺行星鍋的工作原理是： 蒸發(fā)物質被放置在蒸發(fā)源中，通過加熱或電子束轟擊等方式使其蒸發(fā)成為蒸汽。蒸發(fā)的蒸汽被引入到蒸發(fā)臺行星鍋中，并在其中與基片接觸。在蒸發(fā)臺行星鍋的轉動下，基片能夠均勻地接受蒸發(fā)物質的沉積，從而提高蒸鍍的均勻性和質量。蒸鍍完成后，蒸發(fā)物質和剩余的蒸汽被抽走，基片被取出進行后續(xù)處理。
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